恒溫恒濕機(jī)測試芯片晶圓立式循環(huán)溫濕度試驗

制冷系統(tǒng)

制冷系統(tǒng)是綜合溫濕度試驗室的要害部分之一。一般來說，試驗室的制冷方式都是機(jī)械制冷以及輔助液氮制冷，機(jī)械制冷采用蒸汽壓縮式制冷，它們主要由壓縮機(jī)，冷凝器，節(jié)流機(jī)構(gòu)和蒸發(fā)器組成，由于我們試驗的溫度低溫要達(dá)到-55℃，單級制冷難以滿足滿足要求，因此試驗室的制冷方式一般采用復(fù)疊式制冷，復(fù)疊制冷系統(tǒng)由兩部分組成，分別稱為高溫級和低溫級，每一部分是一個相對獨立的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化；低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象（試驗箱內(nèi)的空氣）吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。溫濕度試驗室的高溫部分制冷劑采用中溫制冷劑，低溫部分制冷劑是采用低溫制冷劑，箱內(nèi)溫度能達(dá)到-70-150℃

控制的特點；

試驗箱的控制系統(tǒng)可說是整個設(shè)備的心臟，掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。

在制冷方面，壓縮機(jī)是采用德國進(jìn)口的壓縮機(jī)。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成，每一部分是一個相對獨立的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化;低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗機(jī)內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器起來，它既是高溫部分的冷凝器，也是低溫部分的冷凝器。

加熱系統(tǒng)采用*獨立的鎳鉻合金電加熱式，電阻率大、電阻溫度系數(shù)小，在高溫下變形小且不易脆化，自身加熱溫度可達(dá)1000~1500℃，使用壽命長。

恒溫恒濕機(jī)測試芯片晶圓立式循環(huán)溫濕度試驗

加濕是恒溫恒濕試驗箱不同于高低溫試驗箱的主要一部分，恒溫恒濕試驗箱采用外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。除濕方式采用機(jī)械制冷除濕，將空氣冷卻到露點溫度以下，使大于飽和含濕量的水汽凝結(jié)析出，這樣就降低了濕度。

送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng):空氣循環(huán)系統(tǒng)由耐溫低噪音空調(diào)型電機(jī)，多葉式離心風(fēng)輪構(gòu)成。它提供了試驗機(jī)內(nèi)空氣的循環(huán)。

控制系統(tǒng)是綜合試驗箱的核心，它決定了試驗機(jī)的升溫速率，精度等重要指標(biāo)。試驗機(jī)的控制器大都采用PID控制，也有少部分采用PID與模糊控制相組合的控制方式。由于控制系統(tǒng)基本上屬于軟件的范疇，而且此部分在使用過程中，一般不會出現(xiàn)問題。

1.內(nèi)外箱材質(zhì): 內(nèi)箱:鏡面不銹鋼板 外箱:不銹鋼或鋼板噴涂2.保溫材質(zhì): 硬質(zhì)聚胺脂發(fā)泡 玻璃棉3.控制器: 日本OYO或韓國TEMI人機(jī)介面觸摸屏控制器4.冷凍系統(tǒng): 法國泰康全封閉式壓縮機(jī)/環(huán)保冷媒5.保護(hù)裝置: 壓縮機(jī)過熱,過流,超壓,加熱加濕空焚,箱內(nèi)超溫,缺水報警系統(tǒng)6.電源:220VAC±10%7.標(biāo)準(zhǔn)配置:觀察窗（箱內(nèi)照明）、直徑50mm電纜孔（位于左側(cè)）一個、試樣架二套（高度可調(diào)）主要配件:通訊接口，記錄儀、內(nèi)置玻璃門和操作該系列產(chǎn)品適用于航空航天產(chǎn)品、信息電子儀器儀表、材料、電工、電子產(chǎn)品、各種電子元氣件在濕熱環(huán)境下、檢驗其各項性能指標(biāo)。

性能指標(biāo) 溫度范圍 0~150℃濕度范圍 10~98％ R·H波動/均勻度 ≤±0.5℃ /±2℃溫度偏差 +2％、-3％R·H升溫時間 室溫~100℃約20min控制溫度 ±1℃ ±2％溫濕度運(yùn)行控制系統(tǒng)控制器 進(jìn)口微電腦濕溫度集成控制器（溫度直接顯示百分?jǐn)?shù)）精度范圍 設(shè)定精度：溫度±0.1℃、濕度±0.1％R·H，指示精度：溫度± 0.1℃、溫度±0.1％R·H溫濕度傳感器 鉑鉑金電阻?PT100Ω加熱系統(tǒng) *獨立系統(tǒng)，鎳鉻合金電加熱式加熱器加濕系統(tǒng) 外置隔離式，全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器循環(huán)系統(tǒng) 耐溫低噪音空調(diào)型電機(jī)，多葉式離心風(fēng)輪